雪花清洗機(jī)光學(xué)鏡片制造的光潔秘密

發(fā)布時間：2024-12-12 14:24:57 所屬分類：【行業(yè)動態(tài)】

雪花清洗機(jī)，又稱干冰清洗機(jī)，是一種基于二氧化碳（CO?）的清洗設(shè)備。它利用高壓將液態(tài)二氧化碳轉(zhuǎn)化為微小的雪花顆粒，并通過這些顆粒的高速沖擊力對晶圓表面進(jìn)行清洗。這種清洗方式結(jié)合了物理沖擊和化學(xué)溶解的雙重作用，能夠高效地去除晶圓表面的油脂、顆粒、化學(xué)物質(zhì)等污染物。

當(dāng)-78攝氏度的干冰粒接觸到晶圓表面后，會產(chǎn)生脆化爆炸現(xiàn)象，使污垢收縮及松脫。隨后，干冰粒會瞬間氣化并且膨脹800倍，產(chǎn)生強(qiáng)大的剝離力，將污垢快速、徹底地從晶圓表面脫落。整個過程既快速又高效，同時避免了傳統(tǒng)清洗方法可能帶來的表面損傷。

雪花清洗機(jī)的優(yōu)勢

高效清潔：雪花顆粒的高速沖擊和低溫效應(yīng)，能夠迅速而徹底地去除晶圓表面的污染物，顯著提高清洗效率。這種高效的清洗能力不僅提升了芯片的質(zhì)量，還降低了因污染物導(dǎo)致的缺陷率，從而提高了生產(chǎn)效率和良品率。

環(huán)保無污染：雪花清洗機(jī)使用的清洗介質(zhì)為液態(tài)二氧化碳，清洗過程中不會產(chǎn)生有害的廢液或廢氣，對環(huán)境無污染。同時，二氧化碳可以回收再利用，降低了能源消耗和運營成本。這種環(huán)保特性符合現(xiàn)代工業(yè)對可持續(xù)發(fā)展的要求，減少了企業(yè)的環(huán)保壓力。

無損清洗：由于采用的是非接觸式清洗方式，雪花清洗機(jī)避免了機(jī)械摩擦對晶圓表面可能造成的損傷，保證了晶圓的完整性和平整度。這對于提高芯片的生產(chǎn)效率和良品率具有重要意義。

高度自動化：雪花清洗機(jī)與現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)線高度集成，實現(xiàn)自動化清洗，提高了生產(chǎn)效率和穩(wěn)定性。通過引入先進(jìn)的傳感器和控制系統(tǒng)，實現(xiàn)清洗過程的實時監(jiān)測和精準(zhǔn)控制，進(jìn)一步提高了清洗效率和一致性。

雪花清洗機(jī)在晶圓制造中的應(yīng)用

在晶圓制造過程中，從硅片切割、拋光到光刻、刻蝕等各個環(huán)節(jié)，都需要對晶圓表面進(jìn)行嚴(yán)格的清潔處理。雪花清洗機(jī)憑借其精準(zhǔn)的控制能力和高效的清潔效果，在這些環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要作用。

硅片預(yù)處理：在硅片切割和拋光后，使用雪花清洗機(jī)可以迅速去除表面的研磨料殘留，為后續(xù)工藝提供干凈的基礎(chǔ)。

光刻前清洗：在光刻工藝前，晶圓表面必須保持絕對干凈，以避免圖案畸變或缺陷。雪花清洗機(jī)能夠徹底清除表面污染物，確保光刻圖案的精度和質(zhì)量。

刻蝕后清洗：刻蝕過程中會產(chǎn)生大量的副產(chǎn)物和殘留物，這些污染物如果不及時清除，會嚴(yán)重影響后續(xù)工藝。雪花清洗機(jī)能夠深入刻蝕槽內(nèi)部，徹底清除殘留物，恢復(fù)晶圓表面的潔凈度。